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iH1000愛德華半導(dǎo)體干泵維修
iH1000 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59030908
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1000 m3h-1
589 cfm
16670 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO100
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 430 kg
極限功率輸入 3.8 kW
電機額定功率 6.1 kW
油容量 1.48 l
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
iH1000 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59030945
技術(shù)數(shù)據(jù)
50 Hz 60 Hz
峰值速度 950 m3h-11000 m3h-1
560 cfm 589 cfm
15837 l min-116670 l min-1
極限真空 2 x 10-3 mbar1 x 10-3 mbar
1.5 x 10-3 Torr7.5 x 10-4 Torr
0.2 Pa 0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm 4 slm
進氣口連接 ISO100 ISO100
出口連接 NW40 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1240 l h-1
4 l min-14 l min-1
重量 430 kg 430 kg
極限功率輸入 3.5 kW 3.8 kW
電機額定功率 5.1 kW 6.1 kW
油容量 1.48 l 1.48 l
功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積
概述
Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應(yīng)用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
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