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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備
簡(jiǎn)要描述:

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科CME-200E/400半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào):CME-200E/400
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-11-25
  • 訪  問(wèn)  量:298

詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備


單片PE-CVD設(shè)備CME-200E/400

單片式PE-CVD設(shè)備CME-200E/400是適合批量生產(chǎn)的PE-CVD設(shè)備,適合形成硅基絕緣膜、阻擋膜等。


特征

  • 27.12MHz高密度等離子工藝

  • SiH 4型:SiO 2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS 型:可提供 SiO 2薄膜

  • 可使用NF 3 +Ar 等離子體清潔腔室

  • 可配備用于有機(jī)EL低溫成膜的加熱器

  • 通過(guò)托盤(pán)傳送支持最大尺寸為□200mm的電路板(CME-200E)(支持CME-400:300×400)

目的

  • 功率器件

  • LED、LD、高速器件

  • 有機(jī)EL

  • 太陽(yáng)能電池

  • 微機(jī)電系統(tǒng)

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