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日本ULVAC愛發(fā)科半導體中電流離子注入機
簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科SOPHI-200/260半導體中電流離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導體中電流離子注入機

  • 產(chǎn)品型號：SOPHI-200/260
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：359

詳細介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導體中電流離子注入機

日本ULVAC愛發(fā)科半導體中電流離子注入機


中電流離子注入機SOPHI-200/260

中電流離子注入機SOPHI-200/260是一款配備技術的8、6和5英寸離子注入機。我們正在接受抽樣。


特征

  • 配備技術的平行束離子注入機。
    價格低，運行成本低，
    小型、輕量、
    超薄晶圓可直接轉(zhuǎn)移。

目的

  • 半導體、電子元件

  • 功率器件薄基板工藝、SiC工藝

  • 研發(fā)

規(guī)格

物品索菲-200SOPHI-260
能量范圍3~200keV3~260keV
光束平行度0.2°以下
均勻性0.5%以下








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