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詳細(xì)介紹
HORIBA堀場(chǎng)全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選
HORIBA堀場(chǎng)全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選
排氣壓力控制器
EC-5000 系列排氣壓力控制器可以在腔室內(nèi)保持一致的壓力,由用戶(hù)選擇。高分辨率步進(jìn)電機(jī)和的蝶閥確保對(duì)任何壓力變化做出快速、靈敏的響應(yīng)。
好處:
適用于高真空:不銹鋼機(jī)身
耐腐蝕:還提供帶 PTFE 主體的型號(hào)
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)。
當(dāng)排氣流量調(diào)整到優(yōu)良水平時(shí):
光刻膠分布在均勻的薄膜中
防止油霧的二次沉積
防止危險(xiǎn)蒸氣的擴(kuò)散。
與流量傳感器控制相比,由于光刻膠和其他污染的積累引起的靈敏度變化較小,并且消除了湍流和其他噪聲的影響,從而實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定、響應(yīng)性的控制。
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