工作壓力

最大1.33kPa

源罐容量

2.7升

熱調(diào)節(jié)方式

熱調(diào)節(jié)器進行 PID 控制

液面檢測方法

浮動開關(guān)

內(nèi)部質(zhì)量流量控制器

SEC-8400 系列

氣壓閥

波紋管型

液體連接和氣體接觸區(qū)域的材料

SUS316L, PFA

工作溫度

20 至 35 °C

外部輸入

氣壓閥開/關(guān)、質(zhì)量流量控制器流量設(shè)定信號（0 至 5 V DC/0 至 100% FS）、緊急停止信號、自動調(diào)零信號（選項）

外部輸出

溫度報警、液位HH報警、液位信號（H、M、L）、READY信號、質(zhì)量流量控制器流量輸出信號（（0～5V DC/0～100％FS）、恒溫槽內(nèi)風扇停止報警、閥門電壓監(jiān)視器（選配）

電源

AC100V、單相50/60Hz、1.5kVA

其他

自動充電系統(tǒng)：可連接到LU系列。

* 流量控制范圍根據(jù)液體的種類而變化。

* SCCM 和 SLM 是表示氣體流速（0°C、101.3 kPa 時為 mL/min、L/min）的符號。