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Osaka Vacuum大阪真空高性能輕型渦輪分子泵
簡要描述：

Osaka Vacuum大阪真空TG220F高性能輕型渦輪分子泵
Osaka Vacuum大阪真空高性能輕型渦輪分子泵

特點：
高H2壓縮比
在高背壓的情況下也可以連續(xù)運轉(zhuǎn)，排氣性能安定
將電源控制器與分子泵一體化
360度任意角度安裝
耐振動，可移動正在運轉(zhuǎn)的真空泵

  • 產(chǎn)品型號：TG220F
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2025-04-19
  • 訪  問  量：101

詳細介紹

Osaka Vacuum大阪真空高性能輕型渦輪分子泵

Osaka Vacuum大阪真空高性能輕型渦輪分子泵


  • 輕巧設計

  • 節(jié)能

  • 迅速啟動

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強
    經(jīng)400次大氣沖擊驗證

  • 多種通信模式

  • 符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半導體制造

  • 電子槍排氣，離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理，表面改質(zhì)

  • 各種電子部件的制造

  • 分析，試驗裝置

  • 管球制造，光學部件制造

  • 加速器，放射線設施，核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開發(fā)

※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。


型號TG240F
吸氣口法蘭 CF100/ISO-R100
排氣速度N2 (L/s)240
N2(附帶保護金屬網(wǎng)) (L/s)230
H2 (L/s)160
最大壓縮比N21×108
H24×104
極限壓力ISO-R(Pa/Torr)<1×10-6/<7.5×10-9
CF(Pa/Torr)<5×10-7/<3.8×10-9
最大氣體流量※1N2 (sccm)70
啟動時間(min) 5.5-6
允許輔助壓力(Pa/Torr)700/5.3
推薦輔助泵(L/min)≧80
安裝角度任意
重量ISO-R/CF(kg) 7.3/10.5
控制器型號TC245(一體型)※2
輸入電壓（V）DC24V
所需最大電力（W)75W

※1：輔助泵的容量是80L/min情況下的最大容許流量
※2：可選擇泵和控制器一體型(TC245)或者是分離式型(TC246)

[ 對應氣體種類 ]

由于排氣的氣體種類不同，可能導致泵內(nèi)零件的老化。關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。

[ 使用環(huán)境溫度 ]

極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度是8～38℃





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