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真空泵的抽氣速率對(duì)半導(dǎo)體制造工藝有哪些影響?

更新時(shí)間:2025-04-25      點(diǎn)擊次數(shù):176
真空泵的抽氣速率是指在一定時(shí)間內(nèi)真空泵能夠抽出氣體的體積,它對(duì)半導(dǎo)體制造工藝有著多方面的重要影響,具體如下:



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