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真空泵的抽氣速率和抽氣極限如何影響半導(dǎo)體制造工藝?

更新時(shí)間:2025-04-25      點(diǎn)擊次數(shù):130
真空泵的抽氣速率和抽氣極限是衡量真空泵性能的兩個(gè)重要指標(biāo),它們對(duì)半導(dǎo)體制造工藝有著深遠(yuǎn)影響,具體如下:

抽氣速率的影響

抽氣極限的影響


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