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抽氣極限的高低對半導體制造工藝的具體影響是什么?

更新時間:2025-04-25      點擊次數(shù):137
抽氣極限是指真空泵所能達到的低壓力值,其高低對半導體制造工藝有著多方面的具體影響,以下是詳細介紹:

對光刻工藝的影響

對薄膜沉積工藝的影響

對刻蝕工藝的影響

對離子注入工藝的影響

對器件性能和可靠性的影響


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