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半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀
簡(jiǎn)要描述：

半導(dǎo)體設(shè)備XHEMIS TX-3000理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀
半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀

TXRF光譜儀
超快速金屬污染測(cè)繪

兼容最大 300mm 晶圓

  • 產(chǎn)品型號(hào)：XHEMIS TX-3000
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-09-29
  • 訪  問  量：185

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀

半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀


XHEMIS TX-3000 概述

典型元素的檢測(cè)限 (LLD)

檢測(cè)限LLD（E10原子/cm2）鋁鐵鎳銅
發(fā)射光譜140.060.060.09

測(cè)量時(shí)間：1000秒  


XHEMIS TX-3000 規(guī)格

方法全內(nèi)反射X射線熒光分析（TXRF）
目的快速無損測(cè)量痕量元素表面污染（Na - U）
將繪圖速度提高約 3 倍
E9 原子/cm2 的檢測(cè)極限
技術(shù)高靈敏度金屬污染分析
主要部件3 探測(cè)器配置
高功率 W 對(duì)陰極 X 射線源（9 kW 旋轉(zhuǎn)對(duì)陰極）
針對(duì)輕元素、過渡元素和重元素優(yōu)化的 3 種激發(fā)能量
XYθ 樣品臺(tái)
2 個(gè) FOUP 裝載端口
特征全晶圓映射 (SWEEPING-TXRF)、零邊緣排除 (ZEE-TXRF)
選項(xiàng)背面分析 (BAC-TXRF)、GEM300 軟件、E84/OHT 支持
機(jī)身尺寸1280（寬）×3750（深）×2040（高）
（不含監(jiān)視器和信號(hào)塔）
測(cè)量結(jié)果定量結(jié)果、光譜圖、彩色等高線圖、映射表




























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