玉崎科學(xué)XTRAIA XD-3300半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具

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詳細(xì)介紹

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

XTRAIA XD-3300 是一款多功能射線計(jì)量工具，可在大批量生產(chǎn)中以高通量對(duì)毯式和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進(jìn)行無損分析。

測(cè)量結(jié)果包括通過射線反射率 (XRR) 測(cè)量的膜厚度、密度和粗糙度，以及通過高分辨率 XRD (HRXRD) 測(cè)量的外延膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格弛豫和結(jié)晶度。

XTRAIA XD-3300 概述

它支持多種應(yīng)用，包括在線 XRD/XRR 多層堆疊、金屬薄膜、壓電薄膜、SiGe 和化合物半導(dǎo)體薄膜的厚度和成分分析。您可以根據(jù)您的應(yīng)用選擇最佳的設(shè)備配置。

XRD 和 XRR 分析有可能通過內(nèi)聯(lián)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。

用于高效處理的內(nèi)聯(lián)功能

用于靈活樣品定位的載物臺(tái)和測(cè)角儀

利用光束尺寸高達(dá) 40 μm 的高分辨率 X 射線束

全自動(dòng)化功能，實(shí)現(xiàn)高效運(yùn)營(yíng)

兼容 200 毫米和 300 毫米晶圓

配備2D探測(cè)器，精確采集數(shù)據(jù)

通過*的分析軟件支持全面的數(shù)據(jù)解釋

方法	高分辨率X射線衍射（HRXRD）、射線反射率（XRR）
目的	用于毯狀/圖案外延薄膜的雙光束（線和 40μm 微點(diǎn)）圖案識(shí)別
X射線源	1：9 kW 銅旋轉(zhuǎn)陽極陰極或 2.2 kW 銅封裝管 2：COLORS™ 混合銅梁模塊，用于測(cè)量圖案化晶圓
主要部件	整體和圖案晶圓測(cè)量射線光學(xué)器件：最多 2 個(gè)單色儀 Ge(400) x 2、Ge(220) x 2、Ge(220) x 4 射線探測(cè)器：2D (HyPix-3000) 微光斑尺寸、圖案識(shí)別、高強(qiáng)度、chi軸高精度測(cè)角儀
特征	具有高強(qiáng)度旋轉(zhuǎn)反陰極和微點(diǎn)束的 COLORS™ 混合銅束模塊
選項(xiàng)	單色儀、各種光學(xué)組件 GEM300 軟件、E84/OHT 支持
機(jī)身尺寸	1656（寬）×3689（深）×2289（高）毫米
測(cè)量結(jié)果	HRXRD、XRR、搖擺曲線和倒晶格圖 (RSM)

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